Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие

Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие
Автор: Г. И. Зебрев
Дата написания: 2012
Издательство: «Лаборатория знаний»
ISBN: 978-5-9963-2630-3
Цена: 200.00 Руб.
заказать | скачать | читать

Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро– и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».