Технология материалов микро-, опто– и наноэлектроники. Часть 1. Учебное пособие
Технология материалов микро-, опто– и наноэлектроники. Часть 1. Учебное пособие
Автор: А. А. Раскин
Дата написания: 2012
Издательство: «Лаборатория знаний»
ISBN: 978-5-9963-2566-5
Цена: 200.00 Руб.
заказать | скачать | читать
В первой части учебного пособия рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто– и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Вторая часть пособия посвящена технологии получения основных компонентов микро-, опто– и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.