En
Ru

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие



Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Автор: А. И. Мочалов
Дата написания: 2013
Издательство: «Лаборатория знаний»
ISBN: 978-5-9963-2129-2
Цена: 275.00 Руб.
заказать | скачать | читать

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.



nn

1302415684140

er

183038, г. Мурманск, ул. Коминтерна, 5
тел. (8152) 692-359 факс (8152) 692-421
kres@kolaregion.ru

keytechСоздание сайта
Ключевая технология

event
ПартнёрыПартнёрыПартнёрыПартнёрыПартнёрыПартнёрыПартнёры